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中文 CVD / CVI Beschichtungssysteme
Typ CVI
Beschreibung
Thermisch induzierte chemische Gasphaseninfiltration (englisch chemical vapor infiltration, CVI) ist eine CVD-bezogene Technologie zur Infiltration von Matrixmaterial in poröse oder faserige Vorformlinge, um Bauteile aus Verbundwerkstoffen mit verbesserten mechanischen Eigenschaften, Korrosionsbeständigkeit, Wärmeschockbeständigkeit und geringen Restspannungen herzustellen.
Es können komplexe Formen in einer Vielzahl von Größen und Zusammensetzungen hergestellt werden. Durch Umschalten zwischen mehreren Gasöffnungen können die porösen oder faserigen Vorformlinge mit mehrschichtigen Grenzflächenschichten beschichtet werden, bevor mit der tatsächlichen Abscheidung der Matrix selbst begonnen wird.
Funktionen
- Beschichten unter Atmosphärendruck "AP-CVD" oder unter Relativdruck "LP-CVD"
- Hohe Flexibilität bei der Prozessoptimierung und Gestaltung
- Umfangreiche Datenauswertung
- Prototypenfertigung, Serienfertigung
- Ausführung: Bodenlader
- Temperaturmessung mittels Thermoelement und Pyrometer
Hauptspezifikationen
Anwendungstemperaturen bis 2200 °C
- Mehrzonenheizung
- rotierender Drehteller
- Abgasnachbehandlung
- kontrollierte Abscheidung und Aufbereitung von Nebenprodukten
- Gasaufbereitung und Gasphasenabscheidung für SiC, Si3N4, BN und AlN
- SiC: CH3SiCl3 → SiC + 3HCl
- Si3N4: 3SiCl4 + 4NH3 → Si3N4 + 12HCl
- BN: BCl3 + NH3 → BN + 3HCl
- AlN: AlCl3 + NH3 → AlN + 3HCl
Optionen
- PyC-Beschichtungs- und/oder Infiltrationsanwendungen
- Automatische Nachfüllstation für MTS
- HCl / H2 Sensoren
- Kühlwaserversorgung
| CVI Standardtypen |
nutzbare Abmessungen (Ø/h) [mm] | nutzbare Volumen [dm3] |
max. Beladung [kg] | max. Temperatur [°C] |
max. Heizleistung [kW] |
|---|---|---|---|---|---|
| FS W 500-CVI | 1000 x 600 | 500 | ≤ 450 | 1600 | 300 |
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