CVD / CVI Systèmes de revêtement
Type CVI

Description
L'infiltration chimique en phase vapeur induite thermiquement (CVI, chemical vapor infiltration) est une technologie dérivée du CVD, utilisée pour infiltrer un matériau matriciel dans des préformes poreuses ou fibreuses, afin de fabriquer des composants composites aux propriétés mécaniques améliorées, à la résistance accrue à la corrosion et aux chocs thermiques, et présentant de faibles contraintes résiduelles.
Des formes complexes de différentes tailles et compositions peuvent être produites. En alternant entre plusieurs entrées de gaz, les préformes poreuses ou fibreuses peuvent être revêtues de couches interfaciales multicouches avant de commencer le dépôt effectif de la matrice.

Fonctions
- Revêtement sous pression atmosphérique ("AP-CVD") ou sous pression réduite ("LP-CVD")
- Grande flexibilité pour l'optimisation et la conception du procédé
- Analyse de données approfondie
- Fabrication de prototypes et production en série
- Configuration : chargement par le bas
- Mesure de température par thermocouple et pyromètre

Spécifications principales
- Températures d'application jusqu'à 2200 °C
- Chauffage à zones multiples
- Plateau tournant rotatif
- Traitement des gaz d’échappement
- Dépôt contrôlé et traitement des sous-produits
- Préparation des gaz et dépôt en phase vapeur pour SiC, Si₃N₄, BN et AlN
- SiC: CH3SiCl3 → SiC + 3HCl
- Si3N4: 3SiCl4 + 4NH3 → Si3N4 + 12HCl
- BN: BCl3 + NH3 → BN + 3HCl
- AlN: AlCl3 + NH3 → AlN + 3HCl

Options
- Applications de revêtement et/ou d'infiltration PyC
- Station de remplissage automatique pour MTS
- Capteurs HCl / H₂
- Alimentation en eau de refroidissement
CVI Types standards |
Dimensions utiles (Ø/h) [mm] |
Volume utile [dm3] |
Charge max. [kg] |
Température max. [°C] |
Puissance de chauffage max. [kW] |
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FS W 500-CVI | 1000 x 600 | 500 | ≤ 450 | 1600 | 300 |