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中文 CVD / CVI Beschichtungssysteme
Typ CVD
Beschreibung
Thermisch induzierte chemische Gasphasenabscheidung (englisch chemical vapor deposition, CVD) ist eine leistungsstarke Möglichkeit zur Abscheidung von gleichmäßigen Schichten aus verschiedenen dielektrischen, halbleitenden und metallischen Materialien, entweder in monokristallinem, polykristallinem, amorphem oder epitaktischem Zustand auf klein- oder großflächigen Substraten.
Typische Beschichtungsmaterialien sind unter anderem pyrolytischer Kohlenstoff, Siliziumcarbide, Bornitride. Durch die Verwendung von synthetischen Vorprodukten sind die Beschichtungen äußerst rein und erfüllen die typischen Anforderungen der Halbleiterindustrie.
Je nach Prozessparameter ist ein breites Spektrum an Schichtdicken möglich, von einzelnen oder wenigen Atomschichten bis hin zu festen Schutz- oder Funktionsschichten mit einer Dicke im Bereich von wenigen Nanometern bis zu hunderten Mikrometers und darüber hinaus bis hin zu monolithischen Teilen mit einer Dicke von mehreren Millimetern.
Funktionen
- Beschichten unter Atmosphärendruck "AP-CVD" oder unter Relativdruck "LP-CVD"
- Hohe Flexibilität bei der Prozessoptimierung und Gestaltung
- Umfangreiche Datenauswertung
- Prototypenfertigung, Serienfertigung
- Ausführung: Bodenlader
- Temperaturmessung mittels Thermoelement und Pyrometer
Hauptspezifikationen
Anwendungstemperaturen bis 2200 °C
- Mehrzonenheizung
- rotierender Drehteller
- Abgasnachbehandlung
- kontrollierte Abscheidung und Aufbereitung von Nebenprodukten
- Gasaufbereitung und Gasphasenabscheidung für SiC, Si3N4, BN und AlN
- SiC: CH3SiCl3 → SiC + 3HCl
- Si3N4: 3SiCl4 + 4NH3 → Si3N4 + 12HCl
- BN: BCl3 + NH3 → BN + 3HCl
- AlN: AlCl3 + NH3 → AlN + 3HCl
Optionen
- PyC-Beschichtungs- und/oder Infiltrationsanwendungen
- Automatische Nachfüllstation für MTS
- HCl / H2 Sensoren
- Kühlwaserversorgung
| CVD Standardtypen |
nutzbare Abmessungen (Ø/h) [mm] | nutzbare Volumen [dm3] |
max. Beladung [kg] | max. Temperatur [°C] |
max. Heizleistung [kW] |
|---|---|---|---|---|---|
| CVD 30 | 360 x 295 | 30 | ≤ 25 | 1600 | 45 |
| CVD 175 | 530 x 800 | 175 | ≤ 100 | 1600 | 150 |
| CVD 900 | 900 x 1400 | 900 | ≤ 400 | 1600 | 300 |
| CVD 2500 | 1400 x 1700 | 2600 | ≤ 600 | 1600 | 500 |
| FS W 500-CVI | 1000 x 600 | 500 | ≤ 450 | 1600 | 300 |
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