CVD / CVI Beschichtungs- und Infiltrationssysteme
Typ CVD 30
Funktionen:
- nutzbare Abmessungen (Ø/h): 360 mm / 295 mm
- nutzbare Volume: 30 dm³
- max. Ladekapazität: ≤ 25 kg
- Prozesstemperaturbereich: 900 - 1500 °C
- max. Temperatur: 1600°C
- Aufheizrate (RT-1600°C): ≤ 5 K/ min
- Temperaturhomogenität: ± 10 K
- Ultimatives Vakuum (kalter, sauberer Ofen): ≤ 2x10-1 mbar (20 Pa)
- Leckrate: ≤ 5 x 10-2 mbar l / s
- Partialdruckregelbereich: 10 - 100 mbar
- max. verfügbare Heizleistung: 45 KW
- Kühlwasserbedarf (p_in: 4 bar): 30 KW
- Platzbedarf (W/H/D): 5 / 3 / 3 m
- Erforderliche Stromversorgung: 3 x 380 V±5%, 50 Hz, 130 kVA
- Steuerung Siemens S7 / 1500 und WinCC
- Option: Brennerwäscher
- Option: Verdampfer
Alle Angaben sind ohne Gewähr. Technische Änderungen vorbehalten.